TRM活用事例-0124

○ ＴＲＭ　　　　　　

０	化学気相堆積	光つぶ　クローン使い　ものづくり
１	亜鉛原子	基板上　亜鉛アトムを　堆積す
２	光解離	エチル基と　亜鉛アトムを　分離する
３	ジェチル亜鉛分子	材料　ジェチル亜鉛の　分子なり
４	紫外線	紫外線　ジェチル亜鉛に　光あて
５	ファイバグローブ	針先が　サイズ同じが　効果あり
６	近接場光	光つぶ　電気力の　薄い膜

　「光の小さな粒」＝デモクリトスは、物質を小さく切り刻んでいったとき、それ以上
小さくできない最小単位があると考えた。＊原子という性質を適用できる最小限界
は原子＝（アトム）、それ以上分割すれば、もはや原子核や電子が見えるだけで、
原子としての性格は失われる。
　「光の小さな粒」は別称「光のナノ粒子」と言う。光は＜近折場光＞と＜散乱光＞
のエネルギーを持つ。ナノ粒子SはSの直径位の電気力線の薄い膜で被われるが
、これはS球の電気双極子が作用しできた＜近折場光＞である。併せて、S球は四
方八方に散乱光の電気力線もを発する。
　＊原子核は正の電気を帯び（”正の電荷”を持つ）、電子は負の電気を帯びてい
るので（”負の電荷”をもつ）、そのずれの方向は互いに逆です。実は電場とは、あ
る電荷が他の電荷に及すクーロン力の大きさと向きを表す、別の表現です。

　この化学気相堆積の話は「光の小さな粒」を著した大津元一さんの著書から
情報取得しました。大津さんはまえがきで、私は１９８０年頃から２０年かけて挑
戦してきたことで、ようやく10年前から”光の小さな粒”がどんどん作れるように
なりました。・・・光の粒は小さいけれど、21世紀を明るく照らす革命的な話です。

　光ナノ粒子による技術には、近接場光を検出できる顕微鏡が必須です。この顕
微鏡は英語名はナノスコープ（１０-9）と言い、原理的にファイバグロープを機能さ
せます。このファイバグロープは注射針とイメージでき、針先がS球に等しい直径を
有し近接場光の中に挿入可能なことと、入射光の対極に散乱光のひとつだけを検
出できるように針先外を不透明な金属膜で被われて構造を有していいる。

　一例として、ジェチル亜鉛分子を材として、近接場光の中でファイバグローブか
ら紫外線の光を照射して、エチル基と亜鉛原子を光解離させ、亜鉛原子を基板
上に堆積することが出来る。これを、光を使った「化学気相堆積法」という。
　また、紫外光の場合の半分の分子エネルギーを持つ可視光を用いてもジェチル
亜鉛の光解離は可能である。
　堆積可能な物質には、亜鉛・タングテン・アルミニューム等がある。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　文責＝三ツ井　磐